我国首条8英寸“超越摩尔”研发中试线在沪正式运营

发布时间:2017-09-14

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  9月10日,在2017中国(上海)国际传感器技术与应用展览会开幕式暨2017全球传感器与物联网产业峰会上,中国科协副主席、中国科学院院士王曦,工信部原副部长杨学山,上海市科委主任寿子琪、副主任干频,嘉定区委书记马春雷,国家集成电路产业投资基金总经理、中国高端芯片联盟理事长丁文武,工信部电子司副司长吴胜武共同启动上海微技术工业研究院(以下简称“工研院”)“超越摩尔”研发中试线,标志着国内首条、全球领先、兼容CMOS(互补金属氧化物半导体)的8英寸研发中试线在上海正式投入运营,旨在推动我国“超越摩尔”技术和物联网创新应用快速发展、引领全球。

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  如今,以移动互联网、物联网、云计算、大数据、人工智能等为代表的新一代信息技术正加速创新、融合和普及应用,一个万物互联智能化时代日益临近。其中,“超越摩尔”技术以传感器为核心,结合射频、功率、微能源等技术,是未来实现万物互联的核心技术之一。所谓“超越摩尔”,是指非数字、多元化半导体技术与产品(如传感器)可以在成熟的工艺生产线上研发,无需遵循摩尔定律,在工艺尺寸上越做越小。目前,在“超越摩尔”领域,业界普遍使用6英寸产线,贯通从研发到量产全程服务的8英寸产线是公认的领先技术。

  上海微技术工业研究院立足拥有国内一流集成电路研发和产业基础的上海,志在实施“超越摩尔”计划,争取在这一领域与国际领先水平并行。如今,落地上海嘉定工业区、近5000平方米的高等级微纳加工超净厂房内,8英寸“超越摩尔”研发中试线正式运营,不仅实现了从研发到量产的无缝衔接,而且使国内“超越摩尔”生态链得以完善。

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  8英寸研发中试线将专注于“超越摩尔”传感器产品技术的开发,可全面开展表面、体、3D微纳加工以及新工艺、新器件、新系统的研发,并根据“超越摩尔”产品和技术特点部署了MEMS、硅光子、RF、硅基III-V族、3D集成、MR磁传感、功率及生物等相关工艺和量测设备。8英寸研发中试线不仅可承担产品研发、小批量生产、技术培训、设备验证等服务,有助于提升研发的成功率,更将助力实现“超越摩尔”产品和技术从研发到量产的无缝衔接。

  以全球领先的8英寸“超越摩尔”研发中试线为支点,工研院将打造集研发、工程、市场、孵化于一体的功能型平台,为创新企业及合作伙伴提供全方位服务和解决方案。

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  会上,由工研院、国家集成电路产业投资基金及其他战略投资人共同发起的50亿元“超越摩尔”产业基金同时成立。基金将配合工研院在美国硅谷、法国格勒诺布尔、我国台湾新竹等地建立的创新网络,为更多创新企业提供早期支持,孵化未来领军企业。